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  在科技一日千里的年代，中微公司（688012）再传喜报，最新获得实用新型专利授权。这个名为“半导体处理设备及其感应加热线日正式收效，标志着公司在半导体制作范畴的一次重要前进。

  据天眼查APP的多个方面数据显现，这项新授权的专利申请号为CN4.6，其立异之处体现在感应加热线圈的规划上。这种线圈由多个匝组成，各匝线圈之间由直线段衔接，内部、外部和中心区域的匝线圈设置了不同的距离，以此来完成了方针温度的部分调控。更具体地说，这种部分加热能保证托盘及其承载的晶圆温度均匀分布，极大地提高了半导体制作工艺的稳定性。

  今年中微公司在专利申请方面投入持续，虽然授权的专利数量比较去年同期会下降（减少了10%，共45个），但研制投入却激增至5.68亿元，同比增长了94.58%。这一趋势标明，虽然外部环境动摇，但中微公司仍然坚持不懈地投入到新技能的研制中，以期在未来的商场之间的竞赛中获得更大的优势。

  这一专利的成功授权不只显示了中微公司在半导体技能立异范畴的实力，更是整个职业向前开展的重要一步。未来，咱们等待中微可以持续带来更多突破性技能，让半导体工业在智能化和高效化的道路上迈出更大的一步。回来搜狐，检查更加多